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简单介绍
等离子清洗设备有几种称谓，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗机。 GDR-100PR真空等离子清洗机是我公司针对实验室需要开发的一款中型立式等离子清洗机。适合各种基片、粉体或颗粒状材料的等离子表面改性处理，包括：等离子清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。
产品描述
立式中型等离子清洗机，触摸电脑 PLC多步流程全自动控制，全电路检测，用于BGA、COB、CSP、LED封装制程清洗有机物及氧化物等离子清洗、刻蚀、去胶、活化，中批量等离子清洗机生产机型。
>> 产品特点
立式中型等离子清洗机，触摸电脑 PLC多步流程全自动控制，全电路检测，用于BGA、COB、CSP、LED封装制程清洗有机物及氧化物，中批量生产机型。
>> 技术参数
◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯)
650(W)×900(D)×1600(H)mm
◆ 仓体结构(合金铝，约100升)
420(W)×420(D)×570(H)mm
◆ 放电电极
9层铝合金放电电极,阳极氧化处理
◆ 等离子发生器(美国MKS)
频率13.56MHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统
PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等电器元件，性能稳定,并具有 手动、自动两种模式
◆ 真空系统
日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)
台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器
◆ 压力控制
PID闭环自动稳压控制
◆ 充气系统
美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
